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An Annular Slots Back Island Mems Hydrophone With Ultra-High Sensitivity At Low Frequency
灵敏度（控制系统）
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作者
Lixuan Li,
Zhiyong Hu,
Tao Ruan,
Zhuoqing Yang,
Hongyi Liu,
Fangtao Kuang,
Bin Yang,
Jingquan Liu
标识
DOI：10.1109/mems61431.2025.10918261
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