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Correlation Analysis of Crystal Phase, Defect Structure and Performance of P-type Copper Oxide Thin-film Transistors fabricated by HiPIMS

薄膜晶体管 材料科学 高功率脉冲磁控溅射 晶体管 薄膜 光电子学 氧化物 晶体结构 结晶学 冶金 纳米技术 图层(电子) 溅射沉积 化学 溅射 电气工程 工程类 电压
作者
Ming-Jie Zhao,Haicheng Li,Jie Huang,Haipeng Li,Wen‐Jie Chen,Min Li,Shui‐Yang Lien
出处
期刊:Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
卷期号:: 181057-181057
标识
DOI:10.1016/j.jallcom.2025.181057

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