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飞秒 微电子 纳米技术 激光器 微流控 纳米光刻 制作 材料科学 蚀刻（微加工） 光学 物理 医学 替代医学 病理 图层（电子）
作者
Yong‐Lai Zhang,Qi‐Dai Chen,Hong Xia,Hong‐Bo Sun
出处
期刊：Nano Today [Elsevier]
日期：2010-01-01 卷期号：5 (5): 435-448 被引量：532
标识
DOI：10.1016/j.nantod.2010.08.007
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