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The Removal Mechanism of Monocrystalline Si in the Process of Double Diamond Abrasive Polishing by Molecular Dynamics Simulation
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作者
Houfu Dai,
Haixia Yue,
Yang Hu,
Ping Li
出处
期刊:
Tribology Letters
[Springer Nature]
日期:2021-04-26
卷期号:69 (2)
被引量:23
标识
DOI:10.1007/s11249-021-01445-7
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