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Laser-induced dielectric to conductor transformation on the surface of aluminium nitride ceramic

材料科学陶瓷激光器微电子导电体激光烧蚀复合材料氮化物拉曼光谱光电子学光学图层（电子）物理

作者

Nikolay Nedyalkov,Anna Dikovska,R. Nikov,M. Koleva,K. Grochowska,Rafał Jendrzejewski,Mitsuhiro Terakawa

出处

期刊：Optics and Laser Technology [Elsevier BV]
日期：2023-03-23 卷期号：163: 109384-109384 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.optlastec.2023.109384

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