Laser-induced dielectric to conductor transformation on the surface of aluminium nitride ceramic

材料科学 陶瓷 激光器 微电子 导电体 激光烧蚀 复合材料 氮化物 拉曼光谱 光电子学 光学 图层(电子) 物理
作者
Nikolay Nedyalkov,Anna Dikovska,R. Nikov,M. Koleva,K. Grochowska,Rafał Jendrzejewski,Mitsuhiro Terakawa
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier]
卷期号:163: 109384-109384 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2023.109384

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