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Ion implantation in 4H–SiC

离子注入离子材料科学计算机科学化学有机化学

作者

J. Wong‐Leung,Martin S. Janson,Andrej Kuznetsov,B. G. Svensson,M. K. Linnarsson,Anders Hallén,C. Jagadish,D. J. H. Cockayne

出处

期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
日期：2007-12-28 卷期号：266 (8): 1367-1372 被引量：18

标识

DOI：10.1016/j.nimb.2007.12.049

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