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Investigation of ETCH Profiles in Etching of PZT and Pt Thin Films

作者

Chee Won Chung,Inyong Song,Jong Sig Lee

出处

期刊：MRS Proceedings [Cambridge University Press]
日期：1997-01-01 卷期号：493 被引量：4

标识

DOI：10.1557/proc-493-119

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