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原子层沉积
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类金刚石碳
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作者
Jaime del Moral,Luke Haworth,Laura Montes,Juan R. Sánchez-Valencia,Ángel Barranco,Víctor J. Rico,Triana Czermak,F. Carreño,Paloma Garcia-Gallego,Julio Mora,Carmen López-Santos,Andreas Winkler,Ana Borrás,Agustín R. González-Elipe,Yongqing Fu
标识
DOI：10.1021/acsami.5c19758
摘要
through a room temperature plasma-assisted method ensures reliability and long-term stability of thin-film-based acoustic wave devices in harsh outdoor conditions.
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