Microstructure, oxidation resistance, mechanical and tribological properties of Mo–Al–N films by reactive magnetron sputtering

微观结构 材料科学 溅射沉积 摩擦学 溅射 弹性模量 腔磁控管 耐磨性 冶金 复合材料 薄膜 分析化学(期刊) 纳米技术 化学 色谱法
作者
Junhua Xu,Hongbo Ju,Lihua Yu
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:103: 21-27 被引量:78
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2013.11.013

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