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Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization

原子物理学朗缪尔探针电子离子电场腔磁控管饱和电流磁场计算物理学溅射沉积溅射材料科学化学物理电压等离子体诊断核物理学薄膜纳米技术有机化学量子力学

作者

Koya Yasuda,Yasunori Ohtsu,Julian Schulze

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2022-05-18 卷期号：202: 111184-111184 被引量：3

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111184

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