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TEM investigation of the role of the polycrystalline-silicon film/substrate interface in high quality radio frequency silicon substrates
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作者
Lipeng Ding,
Jean‐Pierre Raskin,
Gunnar Lumbeeck,
D. Schryvers,
Hosni Idrissi
出处
期刊：
Materials Characterization
[Elsevier BV]
日期：2020-01-29
卷期号：161: 110174-110174
被引量：12
链接
handle.net
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doi.org
标识
DOI：10.1016/j.matchar.2020.110174
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