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Pulsed DC bias effect on substrate in TiNx thin film deposition by reactive RF magnetron sputtering at room temperature

材料科学基质（水族馆）溅射溅射沉积沉积（地质）薄膜腔磁控管脉冲直流光电子学高功率脉冲磁控溅射冶金纳米技术古生物学海洋学沉积物地质学生物

作者

Seiki Kim

出处

期刊：한국표면공학회지 [The Korean Institute of Surface Engineering]
日期：2019-01-01 卷期号：52 (6): 342-349

链接

标识

DOI：10.5695/jkise.2019.52.6.342

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