Transport-reaction controlled chemical vapor deposition of epitaxial Si(1−x)Gex thin films and thermodynamic equilibrium composition

材料科学 化学气相沉积 外延 薄膜 锗化合物 化学成分 沉积(地质) 热力学平衡 热力学 物理化学 图层(电子) 纳米技术 化学 冶金 古生物学 物理 沉积物 生物
作者
Hans‐Carsten Kühne,H. Richter
出处
期刊:Journal of Materials Research [Springer Nature]
卷期号:8 (1): 131-137 被引量:1
标识
DOI:10.1557/jmr.1993.0131
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