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MEMS deformable mirrors

微电子机械系统变形镜光学材料科学计算机科学光电子学物理自适应光学

作者

Thomas G. Bifano

出处

期刊：Nature Photonics [Nature Portfolio]
日期：2010-12-22 卷期号：5 (1): 21-23 被引量：148

标识

DOI：10.1038/nphoton.2010.297

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