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Influence of nitrogen flow rates on iron nitride thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering

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作者
K. Jantasom,Mati Horprathum,Pitak Eiamchai,Saksorn Limwichean,Noppadon Nuntawong,Viyapol Patthanasettakul,Pongpan Chindaudom,Chanchana Thanachayanont,P. Songsirirtthigul
出处
期刊：Materials Today: Proceedings [Elsevier]
日期：2017-01-01 卷期号：4 (5): 6173-6177 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.matpr.2017.06.112
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