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作者
Seyed Ahmad Shahahmadi,
A.A. Zulkefle,
A. K. Mahmud Hasan,
Shailesh Rana,
Badariah Bais,
Md. Akhtaruzzaman,
A.R.M. Alamoud,
Nowshad Amin
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2016-08-25
卷期号：56: 160-165
被引量：11
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2016.08.005
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