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Influence mechanism of RF bias on microstructure and superconducting properties of sputtered niobium thin films

材料科学 铌 微观结构 表面粗糙度 超导电性 溅射沉积 薄膜 散射 凝聚态物理 溅射 射频功率放大器 光电子学 复合材料 冶金 光学 纳米技术 物理 CMOS芯片 放大器
作者
Yuan Zhong,Zegang Ni,Jinjin Li,Li Xu,Wenhui Cao,Xueshen Wang,Qing Zhong,Xiaolong Xu,Jian Chen,Congcong Liang
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2022-10-26 卷期号：207: 111636-111636 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2022.111636
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