Liquid film shearing polishing for high quality and low damage tungsten surface: Process optimization, removal mechanism, and processing defects

抛光 剪切(物理) 材料科学 复合材料 冶金 工艺工程 机械工程 工程制图 法律工程学 工程类
作者
Binbin Hong,Yiyang Chen,Hongyu Chen,Te Zhu,Peng Zhang,Xingzhong Cao,Xiaoyu Zhao,Laima Luo,Pengqi Chen,Haifeng Li,Binghai Lyu
出处
期刊:International Journal of Refractory Metals & Hard Materials [Elsevier BV]
卷期号:: 107189-107189 被引量:4
标识
DOI:10.1016/j.ijrmhm.2025.107189
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