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Liquid film shearing polishing for high quality and low damage tungsten surface: Process optimization, removal mechanism, and processing defects

抛光剪切（物理）材料科学钨复合材料冶金工艺工程机械工程工程制图法律工程学工程类

作者

Binbin Hong,Yiyang Chen,Hongyu Chen,Te Zhu,Peng Zhang,Xingzhong Cao,Xiaoyu Zhao,Laima Luo,Pengqi Chen,Haifeng Li,Binghai Lyu

出处

期刊：International Journal of Refractory Metals & Hard Materials [Elsevier BV]
日期：2025-04-01 卷期号：: 107189-107189 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.ijrmhm.2025.107189

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