An Experimental Study on a Barrier-less Cu Interconnect Scheme with Polyimide Insulator for Cost-Effective 3D Packaging

互连 聚酰亚胺 材料科学 集成电路封装 绝缘体(电) 电子工程 光电子学 电子包装 计算机科学 复合材料 集成电路 工程类 电信 图层(电子)
作者
Han Wang,Yingtao Ding,Ziyue Zhang,Ziru Cai,Lei Xiao,Yangyang Yan,Zhiming Chen
出处
期刊:IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tcpmt.2025.3569685
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