Surface integrity analysis of Si3N4 under cryogenic assisted femtosecond laser ablation

材料科学 机械加工 表面粗糙度 飞秒 激光器 烧蚀 表面完整性 表面光洁度 激光烧蚀 复合材料 图层(电子) 光学 冶金 物理 工程类 航空航天工程
作者
Xitong Yu,Yukui Cai,Liping Jiang,Qinghua Song,Jawad Aslam,Bing Wang,Zhanqiang Liu
出处
期刊:Ceramics International [Elsevier BV]
卷期号:50 (13): 23896-23905 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.ceramint.2024.04.119

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