Cryogenic etching and characterization of nano-sized silicon metadevice

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作者
Jindong Wang,Huihao Li,Yan Chen,Changhong Sun,Xing Chen,Qingjun Liao,Zhenhua Ye
出处
期刊:Optics Communications [Elsevier BV]
卷期号:540: 129505-129505
标识
DOI:10.1016/j.optcom.2023.129505

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