Influence factors of aluminum nitride deposition investigated by molecular simulations

氮化物 沉积(地质) 材料科学 纳米技术 冶金 化学物理 工程物理 化学 物理 地质学 沉积物 古生物学 图层(电子)
作者
Yafei Li,Motoaki Kawase
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:652: 128050-128050
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2024.128050
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