NiO 증착시의 Ar 압력 변화에 따른 Ni - Fe / NiO 이층막의 자기적특성과 미세구조에 대한 연구

본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 Ni-Fe/NiO 이층 막에서, NiO 증착 중 Ar 압력에 따른 교환이 방성의 변화를 고찰하였으며 이를 미세조직과 관련시켜 해석하고자 하였다. 낮은 Ar 압력에서 증착한 Ni-Fe/NiO 이층막은 우수한 교환이방성 특성을 나타내었으나 Ar 압력이 증가함에 따라 교환이방성은 급격하게 감소하였다. 낮은 Ar 압력에서 증착한 시편은 NiO와 Ni-Fe 계면에서 epitaxy 경향을 나타내었으며 그 계면은 평평하고 그 경계는 뚜렷하게 구분되었다. 그러나 높은 Ar 압력에서 증착한 시편은 NiO와 Ni-Fe의 경계가 뚜렷하게 구분되지 않고 그 계면 또한 평활하지 않았다. 한편 NiO의 조성은 Ar 압력의 증가에 따라 산소의 조성이 점점 증가하였다.