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作者
Dingxin Liu,
Peter Bruggeman,
Felipe Iza,
Mingzhe Rong,
Michael G. Kong
出处
期刊：
Plasma Sources Science and Technology
[IOP Publishing]
日期：2010-03-18
卷期号：19 (2): 025018-025018
被引量：438
链接
handle.net
ac.uk
tue.nl
tue.nl
doi.org
标识
DOI：10.1088/0963-0252/19/2/025018
摘要
This article is Restricted Access. It was published in the journal, Plasma Sources Science and Technology [© Institute of Physics]. The definitive version is available at: http://iopscience.iop.org/0963-0252/19/2/025018/
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