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Molecular Dynamics Study of Substrate Temperature and Incident Energy Influence on the Crystallization Behavior of Alumina Thin Film Deposition Process

材料科学结晶薄膜沉积（地质）基质（水族馆）过程（计算）复合材料化学工程纳米技术古生物学海洋学沉积物地质学计算机科学工程类生物操作系统

作者

Wei Jiang,Yuanliang Sun,Guangxue Zhou,Yang Liu,Hongbin Dai,E.D. Wang

出处

期刊：Journal of Materials Engineering and Performance [Springer Science+Business Media]
日期：2024-09-10

标识

DOI：10.1007/s11665-024-10065-w

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