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Channeling defects in group-III nitrides during dry etching processes

材料科学干法蚀刻氮化物群（周期表）蚀刻（微加工）冶金复合材料图层（电子）化学有机化学

作者

O. Breitschädel,J. T. Hsieh,Barbara Kühn,F. Scholz,H. Schweizer

出处

期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2000-01-01 卷期号：622

标识

DOI：10.1557/proc-622-t6.33.1

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