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Fast and accurate measurement of high aspect ratio MEMS trench array with optical lattice illumination

沟槽光学材料科学轴棱锥微电子机械系统浅沟隔离纵横比（航空）衍射小型化光电子学激光器物理纳米技术图层（电子）激光束

作者

Xu Li,Xinqi Sui,Dengfeng Kuang

出处

期刊：Microsystems & Nanoengineering [Springer Nature]
日期：2025-08-28 卷期号：11 (1): 165-165 被引量：1

链接

nature.com nature.com nih.gov doaj.org nih.govdoi.org

标识

DOI：10.1038/s41378-025-01017-y

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