SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Fast and accurate measurement of high aspect ratio MEMS trench array with optical lattice illumination
沟槽
光学
材料科学
轴棱锥
微电子机械系统
浅沟隔离
纵横比（航空）
衍射
小型化
光电子学
激光器
物理
纳米技术
图层（电子）
激光束
作者
Xu Li,
Xinqi Sui,
Dengfeng Kuang
出处
期刊：
Microsystems & Nanoengineering
[Springer Nature]
日期：2025-08-28
卷期号：11 (1): 165-165
被引量：1
链接
nature.com
nature.com
nih.gov
doaj.org
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41378-025-01017-y
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
陈思远
完成签到
，获得积分
10
刚刚
思源
上传了
应助文件
1秒前
zt
完成签到，获得积分
10
2秒前
欢喜可愁
完成签到
，获得积分
10
3秒前
江十三
完成签到，获得积分
10
3秒前
丽丽
完成签到，获得积分
10
3秒前
悦耳梦竹
发布了新的
文献求助
10
4秒前
fiona
完成签到，获得积分
0
4秒前
曾建
完成签到
，获得积分
10
5秒前
slgzhangtao
完成签到，获得积分
10
5秒前
Copyright
的
应助
被
飞羽
采纳，获得
10
6秒前
萱1988
完成签到，获得积分
10
7秒前
啊哈哈哈哈哈
完成签到
，获得积分
10
8秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
8秒前
KK
完成签到，获得积分
10
9秒前
hhhhhha
完成签到，获得积分
10
9秒前
科研民工
完成签到，获得积分
10
10秒前
damaye
完成签到，获得积分
10
11秒前
我们仨
完成签到，获得积分
10
11秒前
浅色西
完成签到，获得积分
0
12秒前
机灵的丹寒
完成签到
，获得积分
10
12秒前
a502410600
完成签到，获得积分
10
12秒前
十八褶子
完成签到，获得积分
10
13秒前
wangruiyang
完成签到
，获得积分
10
14秒前
姜姜
发布了新的
文献求助
10
14秒前
皓岚
完成签到，获得积分
10
14秒前
王金娥
完成签到，获得积分
10
15秒前
夏晴晴
完成签到
，获得积分
10
15秒前
Junior
完成签到，获得积分
10
17秒前
丘比特
上传了
应助文件
18秒前
李静
完成签到，获得积分
10
18秒前
LVZHIPENG
完成签到，获得积分
10
19秒前
666
完成签到，获得积分
10
19秒前
南山
完成签到
，获得积分
10
21秒前
四辈
完成签到，获得积分
10
22秒前
LVZHIPENG
发布了新的
文献求助
10
23秒前
悦耳梦竹
完成签到，获得积分
10
24秒前
欣慰的书本
完成签到
，获得积分
10
24秒前
倩倩
完成签到
，获得积分
10
25秒前
eeven
完成签到
，获得积分
10
25秒前
高分求助中
Principles of Economics, 11th Edition
10000
University Physics with Modern Physics, 16th edition
10000
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition
510
Social Skills Improvement System-Rating Scales--Chinese Version
500
Dynamische Polarisation von H-1 und B-11 in (CH-3)-3NBH-3
500
CLSI M07 2024
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
内科学
物理
复合材料
催化作用
细胞生物学
无机化学
光电子学
物理化学
电极
基因
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
7247843
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8870803
关于积分的说明
18712972
捐赠科研通
6926695
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3198061
关于科研通互助平台的介绍
2373825
邀请新用户注册赠送积分活动
2172920
今日热心研友
Kao
242
390
Copyright
203
500
cdercder
39
340
Criminology34
20
465
GingerF
23
400
keven
13
250
YifanWang
30
50
OK
330
musen
300
arniu2008
14
120
无极微光
9
160
核桃
2
200
EastWind
200
Nole
200
潇洒的惋清
190
Nexus
5
140
369ninja
190
火星上的菲鹰
9
80
披着羊皮的狼
16
sanvva
150
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
Copyright
cdercder
Criminology34
GingerF
keven
YifanWang
OK
musen
arniu2008
无极微光
核桃
EastWind
Nole
潇洒的惋清
Nexus
369ninja
火星上的菲鹰
披着羊皮的狼
sanvva
皖公网安备34019202002308
