Ultra-sensitive tactile force/proximity sensor based on monolithically integrated microcantilever

材料科学 光电子学 触觉传感器 纳米技术 声学 电气工程 电子工程 计算机科学 工程类 物理 人工智能 机器人
作者
Cong Lin,Yi Liu,Xincheng Zhu,Xueliang Wang,Jiahao Miao,Zhanxuan Zhou,Xiaomei Yu
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:377: 115771-115771 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.sna.2024.115771
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