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Ultra-High Density Deep Trench Capacitor (DTC) for 3DIC Integration

电容器 沟槽 光电子学 材料科学 电气工程 工程类 纳米技术 电压 图层（电子）
作者
Hung‐Liang Cheng,Jing‐Yuan Lin,Tian‐Chuan Hsu,Eileen Lee Ming Su,S.M. Wu,Yu‐Cheng Chang,Ta‐Chun Chien,Cheng‐Yuan Peng,Jinghai Yang,F. Tsui,Shuping Huang
标识
DOI：10.1109/3dic63395.2024.10830236
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