Investigation of emission lines for in-situ elemental analysis of Cu–Zn films deposited by sputtering

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作者
Susumu Imashuku,Haruka Narita,Kazuaki Wagatsuma
出处
期刊:Spectrochimica Acta Part B: Atomic Spectroscopy [Elsevier BV]
卷期号:194: 106457-106457 被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.sab.2022.106457

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