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Comparison of AlN thin films grown on sapphire and cubic-SiC substrates by LP-MOCVD

作者
Y. Tanaka,Yuji Hasebe,Takashi Inushima,Adarsh Sandhu,S Ohoya
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2000-02-01 卷期号：209 (2-3): 410-414 被引量：21
标识
DOI：10.1016/s0022-0248(99)00581-3
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