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Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry

光刻 半导体工业 薄脆饼 干法蚀刻 蚀刻（微加工） 化合物半导体 半导体 半导体器件 薄膜 工程类 环境化学 化学 纳米技术 工程物理 制造工程 材料科学 光电子学 外延 图层（电子）
作者
Ashutosh Misra,Jeremiah D. Hogan,Russell Chorush
出处
期刊：Wiley eBooks [Wiley]
日期：2002-07-15 被引量：10
标识
DOI：10.1002/0471263850
摘要
Thin Film Deposition Materials. Wafer Cleaning Chemicals. Photolithography Materials. Wet and Dry Etching Materials. Chemical Mechanical Planarizing Materials. Carrier Gases. Uncategorized Materials. Semiconductor Chemicals Analysis. Index.
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