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Structural, Electrical and Optical Properties of Epitaxial ZnO Layers Grown with Various O2 Flows by Radio-Frequency Magnetron Sputtering

材料科学外延光电子学溅射沉积溅射腔磁控管无线电频率高功率脉冲磁控溅射薄膜纳米技术电信计算机科学图层（电子）

作者

J. H. Kim,D. S. Park,Jianding Yu,T. S. Jeong,C. J. Youn,Hong Kim

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2008-06-14 卷期号：52 (6): 1818-1822 被引量：2

标识

DOI：10.3938/jkps.52.1818

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