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Plasma depostion of BN, BCN:H and Me-BCN:H films using N-trimethylborazine (Me = Ti, Nb)

材料科学等离子体结晶学化学物理核物理学

作者

A. Weber,U. Bringmann,C.‐P. Klages,K. Taube,G. Döllein,H.‐Jürgen Meyer,G. Weidenbach

出处

期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1992-08-01 卷期号：2 (8): 1391-1398 被引量：10

标识

DOI：10.1051/jp3:1992184

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