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The effect of substrate temperature and biasing on the mechanical properties and structure of sputtered titanium nitride thin films

材料科学纳米压痕微观结构氮化钛复合材料锡基质（水族馆）薄膜粒度钛氮化物弹性模量偏压溅射沉积溅射冶金图层（电子）纳米技术电压地质学物理海洋学量子力学

作者

P. Patsalas,Costas A. Charitidis,S. Logothetidis

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2000-03-01 卷期号：125 (1-3): 335-340 被引量：277

标识

DOI：10.1016/s0257-8972(99)00606-4

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