高功率脉冲磁控溅射
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作者
Zdeněk Hubička,Jón Tómas Guðmundsson,Petter Larsson,Daniel Lundin
出处
期刊:Elsevier eBooks
[Elsevier]
日期:2019-08-30
卷期号:: 49-80
被引量:16
标识
DOI:10.1016/b978-0-12-812454-3.00007-3
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