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Efficient measurement and optical proximity correction modeling to catch lithography pattern shift issues of arbitrarily distributed hole layer

平版印刷术 图层(电子) 光学 光电子学 计算机科学 材料科学 物理 纳米技术
作者
Yaobin Feng,Jiamin Liu,Zhiyang Song,Hao Jiang,Shiyuan Liu
出处
期刊:Frontiers of Mechanical Engineering [Higher Education Press]
卷期号:19 (4)
标识
DOI:10.1007/s11465-024-0795-1
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