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Close atomic surface on aluminum alloy achieved by a near-neutral novel green chemical mechanical polishing method with high material removal rate
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化学机械平面化
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数学
作者
Xiaofei Lei,
Zhenyu Zhang,
Hongxiu Zhou,
Leilei Chen,
Xingqiao Deng,
Weiting Liu,
Xuye Zhuang,
Mengyi Wang,
Yang Gu
出处
期刊：
Nanoscale
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：17 (20): 12684-12694
被引量：3
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1039/d5nr00132c
摘要
A novel near-neutral green CMP slurry was developed, achieving a close atomic surface on aluminum alloy. The surface roughness (Sa) was 0.231 nm, and the material removal rate was 12.56 μm h −1 .
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