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Three-dimensional characterization of EUV mask blank defects with photoemission electron microscopy assisted by neural network transfer learning

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作者

Jiawei Li,Bochao Li,Zhenlong Zhao,Xie Zhuo,Xiaowei Song,Jingquan Lin

出处

期刊：Applied Optics [Optica Publishing Group]
日期：2025-01-17

标识

DOI：10.1364/ao.547591

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