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Study on the preparation and properties of (BixGa1-x)2O3 alloy semiconductor film deposited by radio frequency co-sputtering

溅射材料科学合金兴奋剂带隙半导体透射率退火（玻璃）光电子学薄膜镓光学复合材料冶金纳米技术物理

作者

Xue Meng,Jinxiang Deng,Ruidong Li,А. V. Аlmaev,Xiaolei Yang,Qing Zhang,Juxin Lao,Jiahui Ren,Kun Tian

出处

期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2023-09-01 卷期号：34 (25) 被引量：4

标识

DOI：10.1007/s10854-023-11214-y

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