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Process and Characteristics of Cobalt Films Deposited by Thermal Atomic Layer Deposition and Silicide Film Formed

硅化物 钴 图层（电子） 材料科学 原子层沉积 沉积（地质） 冶金 过程（计算） 化学工程 热的 薄膜 纳米技术 热力学 地质学 计算机科学 物理 古生物学 沉积物 工程类 操作系统
作者
Shuai Yang,Gao Jian-feng,Jinjuan Xiang,Weibing Liu,Yanpeng Hu,Zhenxing Wang,Meng Liang,Lian Li,Qing Liu,Guilei Wang,Junfeng Li,Chao Zhao,J. L. Luo
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2025-05-01 卷期号：: 114457-114457
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114457
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