SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Process and characteristics of cobalt films deposited by thermal atomic layer deposition and silicide film formed
硅化物
钴
图层（电子）
材料科学
原子层沉积
沉积（地质）
冶金
过程（计算）
化学工程
热的
薄膜
纳米技术
热力学
地质学
计算机科学
物理
工程类
古生物学
操作系统
沉积物
作者
Shuai Yang,
Gao Jian-feng,
Jinjuan Xiang,
Weibing Liu,
Yanpeng Hu,
Zhenxing Wang,
Meng Liang,
Lian Li,
Qing Liu,
Guilei Wang,
Junfeng Li,
Chao Zhao,
J. L. Luo
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2025-05-28
卷期号：240: 114457-114457
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114457
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
华仔
的
应助
被
yy
采纳，获得
10
刚刚
豆儿嘚小豆儿
发布了新的
文献求助
10
1秒前
大个
的
应助
被
引子
采纳，获得
10
2秒前
赘婿
上传了
应助文件
2秒前
y杨扬
完成签到，获得积分
10
3秒前
科研通AI6.3
上传了
应助文件
3秒前
光电催化
给光电催化的
求助
进行了留言
4秒前
百里烬言
发布了新的
文献求助
20
4秒前
隐形曼青
的
应助
被
lllwx
采纳，获得
10
5秒前
芽芽
完成签到，获得积分
10
6秒前
haoyunlai
完成签到，获得积分
10
6秒前
落落大方
发布了新的
文献求助
10
7秒前
哈哈
完成签到，获得积分
10
7秒前
大模型
上传了
应助文件
8秒前
CodeCraft
上传了
应助文件
8秒前
DAY
完成签到
，获得积分
10
9秒前
guajiguaji
发布了新的
文献求助
10
10秒前
希望天下0贩的0
的
应助
被
舒心易烟
采纳，获得
10
10秒前
今后
上传了
应助文件
10秒前
orixero
上传了
应助文件
10秒前
Jocelyn
完成签到，获得积分
10
10秒前
Jasper
的
应助
被
yang
采纳，获得
10
11秒前
BeckerCA
驳回了
Fisher King
的
应助
11秒前
CC
发布了新的
文献求助
20
12秒前
CipherSage
的
应助
被
读者
采纳，获得
10
12秒前
aaaaa
完成签到，获得积分
20
12秒前
yanmu2010
完成签到，获得积分
10
12秒前
吾猫
发布了新的
文献求助
10
13秒前
坚强千筹
发布了新的
文献求助
10
13秒前
汉堡包
的
应助
被
小新
采纳，获得
10
14秒前
华仔
上传了
应助文件
15秒前
任性的友易
关注了科研通微信公众号
15秒前
sirhai
发布了新的
文献求助
10
15秒前
任性的友易
关注了科研通微信公众号
15秒前
乔_
完成签到，获得积分
10
16秒前
Akim
的
应助
被
nolimithyer
采纳，获得
10
16秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
16秒前
谦让的坤
发布了新的
文献求助
10
16秒前
耶啵
完成签到，获得积分
10
17秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
小昼
采纳，获得
10
17秒前
高分求助中
Adhesion Science: Principles & Practice
1234
Signals, Systems, and Signal Processing
610
Burger's Medicinal Chemistry and Drug Discovery
400
A Step-by-Step Guide to Qualitative Data Coding 2nd Edition
400
Impact of Storage Orientation and Duration on Prefilled Syringe Performance: Break-Loose and Glide Forces, and Injection Time Across Multiple Time Points
360
Programming for Chemical Engineers Using C, C++, and MATLAB
300
Upland Kenya wild flowers and ferns: a flora of the flowers, ferns, grasses, and sedges of highland Kenya
300
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
物理
内科学
复合材料
催化作用
物理化学
光电子学
电极
细胞生物学
基因
无机化学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
6669639
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8418306
关于积分的说明
17995353
捐赠科研通
5879020
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2977276
邀请新用户注册赠送积分活动
1953185
关于科研通互助平台的介绍
1881927
今日热心研友
cdercder
245
3290
AllRightReserved
203
2770
无极微光
132
3010
dde
244
1520
wanci
152
450
GingerF
1950
Twonej
60
1250
殷勤的紫槐
1200
liuzhuohao
113
sagitar
43
660
浮游
105
juwairen119
1000
TYK
49
470
HFH
920
CR7
47
440
嘻嘻哈哈
860
sy
28
490
唠叨的轩轩
71
Moonpie
62
OK
610
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
AllRightReserved
无极微光
dde
wanci
GingerF
Twonej
殷勤的紫槐
liuzhuohao
sagitar
浮游
juwairen119
TYK
HFH
CR7
嘻嘻哈哈
sy
唠叨的轩轩
Moonpie
OK
皖公网安备34019202002308
