Electroplating and characterization of cobalt–nickel–iron and nickel–iron for magnetic microsystems applications

电镀 材料科学 磁强计 矫顽力 残余应力 微系统 冶金 光电子学 磁场 复合材料 纳米技术 凝聚态物理 物理 量子力学 图层(电子)
作者
Frank Engel Rasmussen,Jan Tue Ravnkilde,Peter Torben Tang,Ole Hansen,S. Bouwstra
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:92 (1-3): 242-248 被引量:76
标识
DOI:10.1016/s0924-4247(01)00556-8
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