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Application of synchrotron radiation to TXRF analysis of metal contamination on silicon wafer surfaces

同步辐射 薄脆饼 硅 同步加速器 全内反射 半导体 X射线荧光 光束线 材料科学 杂质 光学 光电子学 分析化学（期刊） 化学 荧光 物理 梁（结构） 有机化学 色谱法
作者
P. Pianetta,Katharina Baur,Anoop Pratap Singh,S. Brennan,Jonathan A. Kerner,D. Werho,J Wang
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2000-09-01 卷期号：373 (1-2): 222-226 被引量：39
链接
redalyc.org redalyc.orgdoi.org
标识
DOI：10.1016/s0040-6090(00)01139-1
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