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Parasitic Capacitance and Resistance Model Development and Optimization of Raised Source/Drain SOI FinFET Structure for Analog Circuit Applications

绝缘体上的硅寄生电容电容材料科学光电子学寄生元件电子工程电气工程工程类物理硅电极量子力学

作者

Neeraj Jain,Balwinder Raj

出处

期刊：Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics [American Scientific Publishers]
日期：2018-03-27 卷期号：13 (4): 531-539 被引量：24

标识

DOI：10.1166/jno.2018.2290

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