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Development of the Plasma Cleaning System for the Entrance Mirror of the CXRS-edge Diagnostics of ITER on the Basis of a Discharge with a Mesh Hollow Cathode

材料科学 气体放电 等离子体 溅射 阴极 核工程 等离子清洗 电极 电流（流体） GSM演进的增强数据速率 辉光放电 光电子学 光学 计算机科学 电气工程 物理 纳米技术 薄膜 电信 工程类 量子力学
作者
А. В. Рогов,Yu. V. Kapustin
出处
期刊：Instruments and Experimental Techniques [Pleiades Publishing]
日期：2021-05-01 卷期号：64 (3): 393-400 被引量：5
标识
DOI：10.1134/s0020441221030313
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