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Convolutional neural network based multi-input multi-output model for multi-sensor multivariate virtual metrology in semiconductor manufacturing

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作者

Jeongsub Choi,Mengmeng Zhu,Jihoon Kang,Myong K. Jeong

出处

期刊：Annals of Operations Research [Springer Science+Business Media]
日期：2024-03-16 卷期号：339 (1-2): 185-201 被引量：10

链接

springer.comdoi.org

标识

DOI：10.1007/s10479-024-05902-z

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