SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Fast source mask co-optimization method for high-NA EUV lithography
极紫外光刻
平版印刷术
材料科学
下一代光刻
光学
光电子学
物理
抵抗
纳米技术
电子束光刻
图层（电子）
作者
Ziqi Li,
Lisong Dong,
Xu Ma,
Yayi Wei
出处
期刊：
Opto-Electronic Advances
[Opto-Electronic Advances]
日期：2024-01-01
卷期号：7 (4): 230245-230245
链接
doi.org
doi.org
标识
DOI：10.29026/oea.2024.230235
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
进入登录/注册页面
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
顾矜
上传了
应助文件
刚刚
是一个小朋友
完成签到，获得积分
10
1秒前
小二郎
的
应助
被
忧郁的妙梦
采纳，获得
10
1秒前
慢慢
完成签到，获得积分
10
2秒前
快乐在我这
完成签到，获得积分
10
2秒前
小吴更加努力
发布了新的
文献求助
10
2秒前
贤惠的平松
的
应助
被
闻屿
采纳，获得
10
2秒前
陈强伟
完成签到，获得积分
10
3秒前
Owen
的
应助
被
卷卷
采纳，获得
10
4秒前
HoraceHou
发布了新的
文献求助
30
4秒前
ttzi
发布了新的
文献求助
10
4秒前
sagitar
的
应助
被
fan
采纳，获得
20
4秒前
Starwalker
上传了
应助文件
5秒前
小二郎
上传了
应助文件
5秒前
爆米花
的
应助
被
zym
采纳，获得
10
5秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
任晴
采纳，获得
10
5秒前
科研通AI6.2
的
应助
被
Eggboy
采纳，获得
10
5秒前
youxiaotong
发布了新的
文献求助
10
5秒前
molihuakai
的
应助
被
A2ure
采纳，获得
10
5秒前
赵赵赵
发布了新的
文献求助
10
5秒前
彭于晏
上传了
应助文件
7秒前
JL
关注了科研通微信公众号
7秒前
今后
上传了
应助文件
7秒前
Shantx
完成签到，获得积分
10
9秒前
Wyy321
的
应助
被
sen
采纳，获得
10
9秒前
大模型
的
应助
被
ANXU
采纳，获得
10
9秒前
SciGPT
的
应助
被
夏飞
采纳，获得
10
9秒前
热情绝悟
的
应助
被
陈强伟
采纳，获得
20
9秒前
可爱的函函
的
应助
被
拼搏隶
采纳，获得
10
9秒前
栗子
完成签到，获得积分
10
10秒前
独特的十三
发布了新的
文献求助
10
10秒前
沐夏
发布了新的
文献求助
10
10秒前
深情安青
上传了
应助文件
10秒前
wewe11
发布了新的
文献求助
10
10秒前
可爱的函函
上传了
应助文件
10秒前
忧郁凌波
发布了新的
文献求助
10
11秒前
zgt01
完成签到，获得积分
10
11秒前
脑洞疼
上传了
应助文件
11秒前
sunny
给sunny的
求助
进行了留言
13秒前
jenna
完成签到，获得积分
10
13秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Introduction to Helicopter and Tiltrotor Flight Simulation, Second Edition
2500
卤化钙钛矿人工突触的研究
2000
Malcolm Fraser : a biography
700
Signals, Systems, and Signal Processing
610
Bounds for Statistical Estimation in Semiparametric Models
500
Forced degradation and stability indicating LC method for Letrozole: A stress testing guide
500
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
计算机科学
物理
内科学
复合材料
催化作用
物理化学
光电子学
电极
细胞生物学
基因
无机化学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
6503821
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
8298428
关于积分的说明
17712903
捐赠科研通
5602665
什么是DOI，文献DOI怎么找？
2919670
邀请新用户注册赠送积分活动
1896984
关于科研通互助平台的介绍
1758504
今日热心研友
无极微光
231
5010
OK
77
2190
张欢馨
111
1460
Moonpie
149
770
AllRightReserved
130
950
贪玩的秋柔
52
1290
Ethan
84
620
房延彤
143
Nexus
46
960
GingerF
1260
火星上的菲鹰
117
科研狗
1020
ZeKaWa
1000
Starwalker
40
580
Belikov
37
610
8R60d8
850
lll
84
畔畔
820
qingfengpu
780
侯人雄
740
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
无极微光
OK
张欢馨
Moonpie
AllRightReserved
贪玩的秋柔
Ethan
房延彤
Nexus
GingerF
火星上的菲鹰
科研狗
ZeKaWa
Starwalker
Belikov
8R60d8
lll
畔畔
qingfengpu
侯人雄
皖公网安备34019202002308
