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Review of simulation and modeling techniques for silicon Czochralski crystal growth

直拉法硅材料科学晶体生长结晶学工程物理光电子学化学工程类

作者

Amir Reza Ansari Dezfoli

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
日期：2024-10-09 卷期号：648: 127921-127921 被引量：7

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2024.127921

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