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Effect of Nitridation of Bottom Interlayer in FeFETs With the TiN/Al2O3/Hf0.5Zr0.5O2/Bottom Interlayer/Si Substrate Structure

锡基质（水族馆）材料科学光电子学冶金地质学海洋学

作者

Jia Yang,Runhao Han,Tao Hu,Saifei Dai,Xianzhou Shao,Xiaoqing Sun,Junshuai Chai,Hao Xu,Kai Han,Yanrong Wang,Jing Zhang,Xiaolei Wang,Zhenhua Wu,Tianchun Ye

出处

期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-10-16 卷期号：71 (12): 7405-7411 被引量：2

标识

DOI：10.1109/ted.2024.3473889

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