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Multipath-induced c-axis orientation of aluminum nitride films deposited using direct-current magnetron sputtering

材料科学溅射沉积高功率脉冲磁控溅射氮化物直流电光电子学溅射腔磁控管铝冶金复合材料薄膜电气工程纳米技术图层（电子）电压工程类

作者

Hai‐Liang Zhu,Jin Wu,Zhenhuai Yang,Kesheng Guo,Jing Liu,Lei Liu,Chuandong Zhang,Jie Bai,Hong Liu,Yongneng Xiao,Lang Hu,Qiang Hu,Qiang Wang

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2025-01-19 卷期号：189: 109304-109304 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2025.109304

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